自動滴膠勻膠機

簡要描述：自動滴膠勻膠機，MSC-200T-D桌上型半自動旋轉涂布機用于對均勻性和一致性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液自動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰、光柵、ITO、掩模版等基片上形成薄膜，主要應用于6、8寸晶圓及方形樣品。將基材涂上一層特定的光刻膠、感光涂料或油墨，取出后在進行后道烘干工藝。

基礎信息

產品型號

MSC-200T-D

廠商性質

生產廠家

更新時間

2026-05-11

瀏覽次數

2256

產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機

勻膠機涂布機

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自動滴膠勻膠機：智能一體化，提升涂覆效率與精準度

勻膠機在半導體及精密器件制造中的應用與操作要點

詳細介紹

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自動滴膠勻膠機應用程序：

人工放置基板->啟動真空吸附->基板吸附于轉盤上 ->自動滴膠->旋轉開啟->低轉速->中轉速->高轉速->旋轉停止->去邊->破真空->人工取件。

自動滴膠勻膠機產品特點：

針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產，不用清洗管道；

整機用料扎實、750W進口伺服電機、適合更大更重樣品；

吸盤平整度精細加工平磨，均勻性好，可達1%以內；

電氣獨立集成機身側面，避免因腔體漏液到設備內部導致短路風險；

配置光膠過濾器，清洗保養方便，避免堵膠帶來飛片風險；

真空負壓數值顯示和低真空報警，避免因負壓不足帶來飛片風險。

安全措施：

功能	規格
真空檢知	面版上有數位顯示計，低壓報警
蓋子檢測	運行中開蓋報警
防吸入光阻裝置	加裝于真空PUMP之前,預防光阻液吸入需定期清潔保養
電控箱	位置放在側面，防止漏液帶來短路風險

產品參數：

桌上型半自動旋轉涂布機	供電電壓	AC220V,50Hz	操作方式	7寸觸控屏
	轉速	20~10000rpm	滴膠方式	手動滴膠/自動
	加速度	350~10000rpm/s	編程	可編程50組20步
	減速度	350~10000rpm/s	均勻性	1%
	轉速分辨率	1rpm	抽氣接口	Φ6mm快擰接口
	單步時間	3000s	整機尺寸	650mm×500mm×550mm
	基片尺寸	直徑≤8英寸(200mm)	整機重量	55kg
	腔體材質	PTFE	光刻膠容器	膠泵、壓力罐、美式針筒
	滴膠管路	≤3路（背洗、去邊可選）	核心配件品牌	SMC、CKD、松下、西門子、小金井等
排氣系統	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V 50/60Hz

可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿足不同產量要求，更多需求可咨詢。

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