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桌上型顯影機MSD-150D：用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業客戶。
本司也提供8寸、12寸桌上型顯影機，更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。
桌上型顯影機MSD-150D：顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進口伺服電機，保證轉速、加速度、控制精度高，重復性好；供液系統采用廠務或者壓力容器直接供液方式。
桌上型顯影機MSD-150D控制系統由觸摸屏和PLC控制模式，實時顯示設備運行過程中各工藝功能執行情況。可實現自由的配方編輯，自由修改、編輯、儲存、及調試用工藝配方等。
桌上型顯影機技術規格：
項目 | 規格 |
主體 | 外殼材質:鏡面不銹鋼 處理樣品尺寸：6寸晶圓以內 承盤:PTFE 馬達: 轉速：20-3000 R.P.M 搖臂：自動 操作界面：7寸觸摸屏 |
顯影裝置 | 藥液裝置: 顯影 x1（控溫可選） DIW x1 |
控制系統 | 系統: PLC 使用接口：7寸觸屏 配方:手動和自動模式 編程 : 50 組 20 步 |
安全裝置 | 晶圓承盤真空滲液保護: |
真空檢知: 數字設定:真空值下限保護 運行結束報警提示 |
附件 | 真空泵x1 顯影罐x1 去離子水罐x1 廢液桶x1 真空吸盤x1 |
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